MEMS压力传感器
MEMS压力传感器是基于微机电系统(MEMS)技术制造的微型化压力测量器件,通过将微机械结构与电子电路集成于硅基芯片,实现压力信号到电信号的转换。
特性:
小型化:MEMS技术能够将传感器制造至微米级别。
低功耗:功耗相对较低,适用于便携式电子设备等。
高灵敏度:得益于硅的高应变系数,能够检测非常微小的压力变化。
宽范围适应性:可以设计用于不同的压力范围,从几帕(Pa)到几百兆帕(MPa),满足多样化需求。
良好的线性度和稳定性:可以提供高度线性和长期稳定的压力测量。
MEMS压力传感器广泛应用于各个领域,包括汽车工业、医疗、消费电子、工业自动化等等。
陆感科技提供针对洗衣机、压力笔等应用的MEMS压力传感器。